(57) Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Lebensdauer einer Sputterionenquelle
zu erhöhen, den Wartungsaufwand zu senken und die Zerstäubung der Teile der Ionenquelle,
welche sich in der Nähe des für die Erzeugung der negativen Ionen erforderlichen Kathodeneinsatzes
befinden, weitgehend zu verhindern.
Die Erfindung geht aus von den Bauteilen lonisierer (2), Kathode (3), Sputtereinsatz
(4), Formierungselektrode (5), Abschirmkappe (6) und Kathodenisolator (7) in einem
vakuumdichten Gehäuse und ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Abschirmelektrode
(1) hohlzylinderförmig um die Sputterkathode, bestehend aus den Bauteilen Kathode
(3), Sputtereinsatz (4) und Abschirmkappe (6), angeordnet ist, wobei die Abschirmelektrode
(1) im Bereich des Sputtereinsatzes (4) rotationssymmetrisch verjüngt ausgebildet
ist.
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