(19)
(11) EP 1 397 526 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
17.03.2004  Patentblatt  2004/12

(21) Anmeldenummer: 02747332.1

(22) Anmeldetag:  29.05.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 16/26, C23C 14/06, C23C 16/02, C23C 14/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/005931
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/097157 (05.12.2002 Gazette  2002/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 29.05.2001 DE 10126118

(71) Anmelder: SAXONIA UMFORMTECHNIK GmbH
D-73037 Göppingen (DE)

(72) Erfinder:
  • HÖFER, Reinhard
    73054 Eislingen (DE)
  • DURST, Günther
    72664 Kohlberg (DE)

(74) Vertreter: Alber, Norbert, Dipl.-Ing. et al
PatentanwaltAlbert-Rosshaupter-Strasse 65
81369 München
81369 München (DE)

   


(54) MODIFIZIERTER DLC-SCHICHTAUFBAU