(19)
(11) EP 1 397 528 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
09.09.2009  Patentblatt  2009/37

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
08.07.2009  Patentblatt  2009/28

(21) Anmeldenummer: 01980228.9

(22) Anmeldetag:  01.08.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/44(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2001/008886
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/018670 (07.03.2002 Gazette  2002/10)

(54)

CVD-REAKTOR MIT GASAUSLASSRING AUS MASSIVEM GRAFIT

CVD REACTOR WITH EXHAUST RING MADE OF GRAPHITE

REACTEUR CVD AVEC ANNEAU D'EXTRACTION EN GRAPHITE

(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB NL SE

(30) Priorität: 01.09.2000 DE 10043599

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
17.03.2004  Patentblatt  2004/12

(73) Patentinhaber: AIXTRON AG
52134 Herzogenrath (DE)

(72) Erfinder:
  • JÜRGENSEN, Holger
    52072 Aachen (DE)
  • STRAUCH, Gerd
    52072 Aachen (DE)
  • KÄPPELER, Johannes
    52146 Würselen (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al
Rieder & Partner Corneliusstrasse 45
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
GB-A- 1 215 140
 US-A- 4 976 217
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).