......DE....FRGB........NLSE....................................................*JDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 2999001/01397528KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFTB8B120090909W173deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP01980228.92001080120030222dedede1004359920000901DE2009090920093720040317200412200907082009282009012920090909200937C23C 16/44 20060101AFI20040120BHEP deCVD-REAKTOR MIT GASAUSLASSRING AUS MASSIVEM GRAFITenCVD REACTOR WITH EXHAUST RING MADE OF GRAPHITEfrREACTEUR CVD AVEC ANNEAU D'EXTRACTION EN GRAPHITEGB-A- 1 215 140US-A- 4 976 217JÜRGENSEN, HolgerRathausstrasse 43d52072 AachenDESTRAUCH, GerdSchönauer Friede 8052072 AachenDEKÄPPELER, JohannesZeisigweg 4752146 WürselenDEAIXTRON AG1017789023843PCT Dr.G./Kaiserstrasse 9852134 HerzogenrathDEGrundmann, Dirket al00075793Rieder & Partner Corneliusstrasse 4542329 WuppertalDEDEFRGBNLSEEP200100888620010801deWO200201867020020307200210