(19)

(11)

EP 1 399 949 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 27.03.2003 (43) Veröffentlichungstag: 24.03.2004  Patentblatt  2004/13 (21) Anmeldenummer: 02727587.4 (22) Anmeldetag:  02.05.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/004781 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2002/091435 (14.11.2002 Gazette  2002/46)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 10.05.2001 DE 10122669 (71) Anmelder: Mattson Wet Products Gmbh 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: HENSON, David Austin, TX 78754 (US) KOHLER, Laurence Austin, TX 78754 (US) LOHMÜLLER, Jürgen 72762 Reutlingen (DE) (74) Vertreter: Wagner & Geyer  Gewürzmühlstrasse 5 D-80538 München D-80538 München (DE)