(19)

(11)

EP 1 399 972 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 21.08.2003 (43) Veröffentlichungstag: 24.03.2004  Patentblatt  2004/13 (21) Anmeldenummer: 02742805.1 (22) Anmeldetag:  12.06.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/115, H01L 21/8246 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2002/002141 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/001600 (03.01.2003 Gazette  2003/01)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 21.06.2001 DE 10129958 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: PALM, Herbert 85635 Höhenkirchen (DE) WILLER, Josef 85521 Riemerling (DE) (74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer  Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)