(19)
(11) EP 1 402 228 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.03.2004  Patentblatt  2004/14

(21) Anmeldenummer: 02735425.7

(22) Anmeldetag:  26.06.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01B 9/02, G01B 11/24, G01B 11/30
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/007080
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/002933 (09.01.2003 Gazette  2003/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 27.06.2001 DE 10130902

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHULTE, Stefan
    73434 Aalen (DE)
  • DÖRBAND, Bernd
    73434 Aalen (DE)
  • MÜLLER, Henriette
    73434 Aalen (DE)
  • KÄHLER, Wolfgang
    73431 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Schorr, Frank, Dr. et al
Diehl Glaeser Hiltl & Partner,Augustenstrasse 46
80333 München
80333 München (DE)

   


(54) INTERFEROMETERSYSTEM, VERFAHREN ZUM AUFNEHMEN EINES INTERFEROGRAMMS UND VERFAHREN ZUM BEREITSTELLEN UND HERSTELLEN EINES OBJEKTS MIT EINER SOLL-OBERFLÄCHE