(19)

(11)

EP 1 402 565 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 29.01.2004 (43) Veröffentlichungstag: 31.03.2004  Patentblatt  2004/14 (21) Anmeldenummer: 02740254.4 (22) Anmeldetag:  12.04.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2002/001370 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2002/089183 (07.11.2002 Gazette  2002/45)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 28.04.2001 DE 10121115 (71) Anmelder: Leica Microsystems Jena GmbH 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: URBAN, Karsten 07747 Jena (DE) DEUTSCHER, Winfried 07745 Jena (DE) WIENECKE, Joachim 07747 Jena (DE) (74) Vertreter: Reichert, Werner F., Dr.  Leica Microsystems AG,Corporate Patents + Trademarks Department,Ernst-Leitz-Strasse 17-37 35578 Wetzlar 35578 Wetzlar (DE)