(19)

(11)

EP 1 402 581 A1

(12)

(43) Date de publication: 31.03.2004  Bulletin  2004/14 (21) Numéro de dépôt: 01938258.9 (22) Date de dépôt:  08.06.2001

(51) Int. Cl.7: H01L 37/02, G01J 5/34 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2001/006630 (87) Numéro de publication internationale: WO 2002/101843 (19.12.2002 Gazette  2002/51)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Etats d'extension désignés: AL LT LV MK RO SI (71) Demandeur: IR Microsystems S.A. 1015 Lausanne (CH)	(72) Inventeurs: KOHLI, Markus CH-1100 Morges (CH) SEIFERT, Andreas CH-1025 St-Sulpice (CH) WILLING, Bert CH-1006 Lausanne (CH) (74) Mandataire: Surmely, Gérard  I C BIngénieurs Conseils en Brevets SA,Rue des Sors 7 2074 Marin 2074 Marin (CH)