(19)
(11) EP 1 403 903 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.05.2005  Patentblatt  2005/19

(43) Veröffentlichungstag A2:
31.03.2004  Patentblatt  2004/14

(21) Anmeldenummer: 03015579.0

(22) Anmeldetag:  11.07.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01J 41/18
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 05.09.2002 DE 10241549

(71) Anmelder: NaWoTec GmbH
64380 Rossdorf (DE)

(72) Erfinder:
  • Koops, Hans Wilfried Peter Dr.
    64372 Ober-Ramstadt (DE)

(74) Vertreter: Borchert, Uwe Rudolf, Dipl.-Ing. et al
Puschmann & Borchert Patentanwälte European Patent Attorneys Postfach 10 12 31
80086 München
80086 München (DE)

   


(54) Orbitron-Pumpe


(57) Die Erfindung betrifft eine Orbitron-Pumpe 10 zur Erzeugung von Vakuum in einem zu evakuierenden Raum-Pumpenraum 24 -, mit einer Elektronenquelle 18, mit Mitteln zum Erzeugen eines Feldes, das die Elektronen der Elektronenquelle 18 im Pumpenraum 24 auf eine Kreisbahn zwingt. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die Elektronenquelle als Feldelektronenquelle 18 ausgebildet ist, die einen kalten Feldelektronen-Emitter 22 und eine Beschleuniger-Elektrode 20 umfasst, welche die aus dem Feldelektronen-Emitter 22 austretenden Elektronen in Richtung auf das Feld beschleunigt, und dass der Abstand zwischen dem Feldelektronen-Emitter 22 und der Beschleuniger-Elektrode 20 kleiner als die mittlere freie Weglänge der Atome des zu evakuierenden Gases - Restgas - in dem Pumpenraum 24 ist.







Recherchenbericht