(19)

(11)

EP 1 405 144 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.04.2004  Patentblatt  2004/15 (21) Anmeldenummer: 02751097.3 (22) Anmeldetag:  02.07.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G01J 1/48 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/007252 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/005128 (16.01.2003 Gazette  2003/03)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 02.07.2001 DE 10131918 (71) Anmelder: CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: FIOLKA, Damian 73447 Oberkochen (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner  Kronenstrasse 30 70174 Stuttgart 70174 Stuttgart (DE)