(19)

(11)

EP 1 405 351 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 30.05.2003 (43) Veröffentlichungstag: 07.04.2004  Patentblatt  2004/15 (21) Anmeldenummer: 02747215.8 (22) Anmeldetag:  12.06.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/108 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2002/002151 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/005454 (16.01.2003 Gazette  2003/03)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 05.07.2001 DE 10132583 (71) Anmelder: PMD Technologies GmbH 57076 Siegen (DE)	(72) Erfinder: GULDEN, Peter 80339 München (DE) VOSSIEK, Martin 31139 Hildesheim (DE) (74) Vertreter: Weber, Dieter, Dr.  Weber, Seiffert, LiekePostfach 61 45 65051 Wiesbaden 65051 Wiesbaden (DE)