(19)
(11) EP 1 407 299 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.04.2004  Patentblatt  2004/16

(21) Anmeldenummer: 02752986.6

(22) Anmeldetag:  25.06.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 5/30, G02B 1/02, G02B 1/08, G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/002392
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/009021 (30.01.2003 Gazette  2003/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 18.07.2001 DE 10133842

(71) Anmelder: CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • HARTMAIER, Jürgen
    73447 Oberkochen (DE)
  • FIOLKA, Damian
    73447 Oberkochen (DE)
  • ZENZINGER, Markus
    89073 Ulm (DE)
  • MECKING, Birgit
    73434 Aalen (DE)
  • DITTMANN, Olaf
    73441 Bopfingen (DE)
  • GRUNER, Toralf
    09122 Chemnitz (DE)
  • KAMENOV, Vladimir
    73447 Oberkochen (DE)
  • BRUNOTTE, Martin
    73430 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner 
Kronenstrasse 30
70174 Stuttgart
70174 Stuttgart (DE)

   


(54) VERZÖGERUNGSELEMENT AUS KUBISCHEM KRISTALL UND OPTISCHE SYSTEME DAMIT