(19)
(11) EP 1 407 325 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.04.2004  Patentblatt  2004/16

(21) Anmeldenummer: 02762307.3

(22) Anmeldetag:  27.06.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G02B 1/02, G02B 1/08, G02B 27/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/007112
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/009062 (30.01.2003 Gazette  2003/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 18.07.2001 DE 10133841

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • GERHARD, Michael
    73432 Aalen (DE)
  • KRÄHMER, Daniel
    73431 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr. 
Carl Zeiss,Patentabteilung
73446 Oberkochen
73446 Oberkochen (DE)

   


(54) KOMPENSATION DER DOPPELBRECHUNG IN EINEM OBJEKTIV MIT KRISTALL-LINSEN