PROCEDE D'AMELIORATION DE L'ETAT DE SURFACE D'UNE PLAQUETTE SEMICONDUCTRICE - Patent 1407483

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EP 1 407 483 A1

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(43)	Date de publication:
	14.04.2004 Bulletin 2004/16

(21)	Numéro de dépôt: 02767576.8

(22)	Date de dépôt: 16.07.2002

(51)	Int. Cl.⁷: H01L 21/324, H01L 21/306

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2002/002543

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2003/009366 (30.01.2003 Gazette 2003/05)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT
	Etats d'extension désignés:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorité:

16.07.2001 FR 0109495

(71)	Demandeur: S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies
	38190 Bernin (FR)

(72)	Inventeurs:
	MALEVILLE, Christophe F-38660 La Terrasse (FR) NEYRET, Eric F-38360 Sassenage (FR)

(74)	Mandataire: Le Forestier, Eric et al
	Cabinet Régimbeau20, rue de Chazelles 75847 Paris cedex 17 75847 Paris cedex 17 (FR)

(54)	PROCEDE D'AMELIORATION DE L'ETAT DE SURFACE D'UNE PLAQUETTE SEMICONDUCTRICE