(19)

(11)

EP 1 407 489 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 02.10.2003 (43) Veröffentlichungstag: 14.04.2004  Patentblatt  2004/16 (21) Anmeldenummer: 02754223.2 (22) Anmeldetag:  18.06.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/34 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2002/002210 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/005442 (16.01.2003 Gazette  2003/03)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 04.07.2001 DE 10132452 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: HAUENSTEIN, Henning 72762 Reutlingen (DE) BAUR, Markus 72108 Rottenburg (DE)