(19)
(11) EP 1 410 441 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
25.09.2003

(43) Veröffentlichungstag:
21.04.2004  Patentblatt  2004/17

(21) Anmeldenummer: 02754852.8

(22) Anmeldetag:  08.07.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/007593
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/010826 (06.02.2003 Gazette  2003/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 26.07.2001 DE 10136333

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BIRNER, Albert
    01129 Dresden (DE)
  • LUETZEN, Joern
    01099 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Ginzel, Christian et al
Zimmermann & Partner,Postfach 33 09 20
80069 München
80069 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES VERTIKALTRANSISTORS IN EINEM GRABEN