(19)

(11)

EP 1 410 442 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.04.2004  Patentblatt  2004/17 (21) Anmeldenummer: 01958037.2 (22) Anmeldetag:  31.07.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/51, H01L 21/28 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2001/008830 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2002/013275 (14.02.2002 Gazette  2002/07)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 03.08.2000 DE 10039327 (71) Anmelder: IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics/Institut für innovative Mikroelektronik 15236 Frankfurt an der Oder (DE)	(72) Erfinder: OSTEN, Hans-Jörg 15299 Müllrose (DE) (74) Vertreter: Eisenführ, Speiser & Partner  Patentanwälte RechtsanwälteAnna-Louisa-Karsch-Strasse 2 10178 Berlin 10178 Berlin (DE)