(19)
(11) EP 1 410 696 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.04.2004  Patentblatt  2004/17

(21) Anmeldenummer: 01978165.7

(22) Anmeldetag:  19.09.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H05G 2/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2001/003635
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/026003 (28.03.2002 Gazette  2002/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE

(30) Priorität: 20.09.2000 DE 10047779

(71) Anmelder: Friedrich-Schiller-Universität Jena
07743 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • SAUERBREY, Roland
    07743 Jena (DE)
  • FEURER, Thomas, Dr.,c/o Dept. of Chemistry, MIT
    Cambridge, MA 02139-420 (US)

   


(54) VERFAHREN ZUR UMWANDLUNG VON LASERSTRAHLUNG IN RÖNTGENSTRAHLUNG, INSBESONDERE EUV-STRAHLUNG, MITTELS EINES VON DER LASERSTRAHLUNG ERZEUGTEN PLASMAS