(84) |
Designated Contracting States: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR |
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Designated Extension States: |
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AL LT LV MK RO SI |
(30) |
Priority: |
07.05.2001 US 850439 07.05.2001 US 850470
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(71) |
Applicant: UOP LLC |
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Des Plaines, IL 60017-5017 (US) |
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(72) |
Inventors: |
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- VANDEN BUSSCHE, Kurt, M.UOP LLC
Des Plaines, IL 60017-5017 (US)
- ABDO, SuheilUOP LLC
Des Plaines, IL 60017-5017 (US)
- HESSEL, V.,Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH
55129 Mainz (DE)
- LÖWE, HolgerInstitut für Mikrotechnik Mainz GmbH
55129 Mainz (DE)
- HARDT SteffenInstitut für Mikrotechnik Mainz GmbH
55129 Mainz (DE)
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(74) |
Representative: Hayes, Adrian Chetwynd et al |
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Boult Wade Tennant,Verulam Gardens70 Gray's Inn Road London WC1X 8BT London WC1X 8BT (GB) |
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