(19)
(11) EP 1 412 720 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.04.2004  Patentblatt  2004/18

(21) Anmeldenummer: 02762213.3

(22) Anmeldetag:  05.07.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01L 9/06
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/002466
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/008922 (30.01.2003 Gazette  2003/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 19.07.2001 DE 10135170

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • WINGSCH, Volker
    72762 Reutlingen (DE)
  • GLÜCK, Joachim
    71272 Renningen (DE)

   


(54) HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN DÜNNSCHICHTBAUELEMENT UND DÜNNSCHICHTBAUELEMENT