ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIE......FI....CY..TRBGCZEE....SK................*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01412720A120040428EP02762213.32002070520040219DeDeDe1013517020010719DE20040428200418200404282004187 7G 01L 9/06 AdeHERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN DÜNNSCHICHTBAUELEMENT UND DÜNNSCHICHTBAUELEMENTenTHIN-FILM COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING SAID THIN-FILM COMPONENTfrCOMPOSANT EN COUCHES MINCES ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN COMPOSANT EN COUCHES MINCESROBERT BOSCH GMBH00200050R. 41001 Sb/ZjBOSCH GMBH, ROBERTPostfach 30 02 2070442 StuttgartDEWINGSCH, VolkerMoltkestr. 5372762 ReutlingenDEGLÜCK, JoachimLehenbuehlstr. 5371272 RenningenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSESKTRDE200200246620020705DeWO200300892220030130200305