(19)
(11) EP 1 412 728 A1

(12)

(43) Date de publication:
28.04.2004  Bulletin  2004/18

(21) Numéro de dépôt: 01992882.9

(22) Date de dépôt:  05.11.2001
(51) Int. Cl.7G01N 27/00, G01B 7/34, G02B 21/00
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2001/003409
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2002/037090 (10.05.2002 Gazette  2002/19)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorité: 06.11.2000 FR 0014215

(71) Demandeur: Centre National De La Recherche Scientifique
75794 Paris Cedex 16 (FR)

(72) Inventeurs:
  • ROGER, Jean-Paul
    F-91480 Quincy sous Senart (FR)
  • BOCCARA, Albert, Claude
    F-75004 Paris (FR)
  • BERGAUD, Christian
    F-31000 Toulouse (FR)
  • POTIER, Marie-Claude
    F-92500 Asnières sur Seine (FR)

(74) Mandataire: Michelet, Alain et al
Cabinet Harlé et Phélip7, rue de Madrid
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) APPAREIL DE DETECTION EN PARALLELE DU COMPORTEMENT DE MICROOSCILLATEURS MECANIQUES