(19)
(11) EP 1 412 731 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.04.2004  Patentblatt  2004/18

(21) Anmeldenummer: 02758077.8

(22) Anmeldetag:  06.07.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G01N 27/18, G01N 27/12, B81B 3/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/002480
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/012420 (13.02.2003 Gazette  2003/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 25.07.2001 DE 10136164

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BENZEL, Hubert
    72124 Pliezhausen (DE)
  • WEBER, Heribert
    72622 Nuertingen (DE)
  • BAUER, Michael
    72076 Tuebingen (DE)
  • ARTMANN, Hans
    71106 Magstadt (DE)
  • PANNEK, Thorsten
    70176 Stuttgart (DE)
  • SCHAEFER, Frank
    72070 Tuebingen (DE)
  • KRUMMEL, Christian
    72138 Kirchentellinsfurt (DE)

(74) Vertreter: Lelgemann, Karl-Heinz, Dipl.-Ing. et al
Patentanwälte Spalthoff und Lelgemann,Postfach 34 02 20
45074 Essen
45074 Essen (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT