ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEE....SK................*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01412731A120040428EP02758077.82002070620040211DeDeDe1013616420010725DE20040428200418200404282004187 7G 01N 27/18 A 7G 01N 27/12 B 7B 81B 3/00 BdeMIKROMECHANISCHES BAUELEMENTenMICROMECHANICAL COMPONENTfrCOMPOSANT MICROMECANIQUEROBERT BOSCH GMBH0020005028 799 L/F.BOSCH GMBH, ROBERTPostfach 30 02 2070442 StuttgartDEBENZEL, HubertStellenaeckerstrasse 372124 PliezhausenDEWEBER, HeribertIm Hoefle 2872622 NuertingenDEBAUER, MichaelAhornweg 272076 TuebingenDEARTMANN, HansLiebenzeller Weg 2/171106 MagstadtDEPANNEK, ThorstenHasenbergstrasse 9970176 StuttgartDESCHAEFER, FrankOtto-Erbe-Weg 5272070 TuebingenDEKRUMMEL, ChristianKarlstrasse 1172138 KirchentellinsfurtDELelgemann, Karl-Heinz, Dipl.-Ing.et al00062001Patentanwälte Spalthoff und Lelgemann,Postfach 34 02 2045074 EssenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSESKTRALLTLVMKROSIDE200200248020020706DeWO200301242020030213200307