(19)
(11) EP 1 412 986 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.08.2003

(43) Veröffentlichungstag:
28.04.2004  Patentblatt  2004/18

(21) Anmeldenummer: 02794490.9

(22) Anmeldetag:  26.07.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/786, H01L 21/336
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/002760
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/015182 (20.02.2003 Gazette  2003/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 30.07.2001 DE 10137217

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HOFMANN, Franz
    80995 München (DE)
  • KRETZ, Johannes
    80538 München (DE)
  • ROESNER, Wolfgang
    85521 Ottobrunn (DE)
  • SCHULZ, Thomas
    81737 München (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Postfach 22 14 43
80504 München
80504 München (DE)

   


(54) STEG-FELDEFFEKTTRANSISTOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES STEG-FELDEFFEKTTRANSISTORS