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(11) | EP 1 413 753 A3 |
| (12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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| (54) | Mehrstufige Kolbenpumpe und Verfahren zu deren Betrieb |
| (57) Die Erfindung betrifft eine mehrstufige Kolbenvakuumpumpe und ein Verfahren zum Betrieb
derselben. Die Pumpe besteht aus einem Gehäuse (1) und aus mindestens zwei Schöpfräumen
(2) und (4). Zwischen der Ansaugseite (16) und den Schöpfräumen bzw. zwischen den
Schöpfräumen selbst besteht ein System von Verbindungsleitungen und Ventilen, über
welche die einzelnen Pumpstufen entweder in Paralleloder in Serienschaltung betrieben
werden können. Die Verbindungsleitungen und Ventile sind im Pumpengehäuse integriert,
so dass eine kompakte und platzsparende Bauweise erreicht wird. Die Länge der Verbindungsleitungen
selbst kann auf ein Minimum reduziert werden. |