(19)
(11) EP 1 415 144 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
03.04.2003

(43) Veröffentlichungstag:
06.05.2004  Patentblatt  2004/19

(21) Anmeldenummer: 02745118.6

(22) Anmeldetag:  04.06.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01N 27/12, G01N 33/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/002024
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/006977 (23.01.2003 Gazette  2003/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 10.07.2001 DE 10133466

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • INGRISCH, Kurt
    72762 Reutlingen (DE)

(74) Vertreter: Lelgemann, Karl-Heinz, Dipl.-Ing. 
Patentanwälte Spalthoff und Lelgemann,Postfach 34 02 20
45074 Essen
45074 Essen (DE)

   


(54) SCHICHTVERBUND UND MIKROMECHANISCHES SENSORELEMENT, INSBESONDERE GASSENSORELEMENT, MIT DIESEM SCHICHTVERBUND