| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK RO SI |
| (30) |
Priorität: |
10.08.2001 DE 10138313
23.01.2002 WO PCT/EP02/00608
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| (71) |
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG |
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73447 Oberkochen (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- SINGER, Wolfgang
73431 Aalen (DE)
- EGLE, Wilhelm
73432 Aalen (DE)
- WEISS, Markus
73430 Aalen (DE)
- HAINZ, Joachim
73430 Aalen (DE)
- WIETZORREK, Joachim
D-73430 Aalen (DE)
- WANGLER, Johannes
89551 Königsbronn (DE)
- MELZER, Frank
D-73469 Utzmemmingen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Dr. Weitzel & Partner |
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Friedenstrasse 10
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE) |
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