(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK RO SI |
(30) |
Priorität: |
05.07.2001 DE 10132083 22.02.2002 DE 10207651
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(71) |
Anmelder: Nanogate Technologies GmbH |
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66121 Saarbrucken (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- NASS, Rüdiger
66292 Riegelsberg (DE)
- STADTWALD-KLENKE, Martin
66440 Blieskastel (DE)
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(74) |
Vertreter: Pietruk, Claus Peter, Dipl.-Phys. |
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Heinrich-Lilienfein-Weg 5 76229 Karlsruhe 76229 Karlsruhe (DE) |
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