(19)
(11) EP 1 417 459 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
04.09.2003

(43) Veröffentlichungstag:
12.05.2004  Patentblatt  2004/20

(21) Anmeldenummer: 02764547.2

(22) Anmeldetag:  14.08.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G01D 5/38, G01D 5/36
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/002982
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/021237 (13.03.2003 Gazette  2003/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 14.08.2001 DE 10139796

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BRÄUER, Andreas
    07646 Schlöben (DE)
  • BRUNNER, Herbert
    93049 Regensburg (DE)
  • DANNBERG, Peter
    07745 Jena (DE)
  • SCHREIBER, Peter
    07749 Jena (DE)
  • STEEGMÜLLER, Ulrich
    93059 Regensburg (DE)
  • ZEITNER, Uwe
    99423 Weimar (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON TRANSLATIONSBEWEGUNGEN ZWISCHEN EINER OBERFLÄCHE UND EINER MESSVORRICHTUNG