(19)
(11) EP 1 419 102 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
27.11.2003

(43) Veröffentlichungstag:
19.05.2004  Patentblatt  2004/21

(21) Anmeldenummer: 02798641.3

(22) Anmeldetag:  23.08.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81B 7/00, B81C 1/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/009449
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/024865 (27.03.2003 Gazette  2003/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 24.08.2001 DE 10141571
24.08.2001 DE 10141558
23.05.2002 DE 10222959

(71) Anmelder:
  • Schott Glas
    55122 Mainz (DE)

    AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GR IT LU MC NL PT LI 
  • Carl-Zeiss-Stiftung
    55122 Mainz (DE)

    GB IE 

(72) Erfinder:
  • LEIB, Jürgen
    85345 Freising (DE)
  • BIECK, Florian
    55118 Mainz (DE)

(74) Vertreter: Blumbach, Kramer & Partner GbR 
Patentanwälte,Alexandrastrasse 5
65187 Wiesbaden
65187 Wiesbaden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKRO-ELEKTROMECHANISCHEN BAUELEMENTEN