(19)
(11) EP 1 419 524 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.03.2004

(43) Veröffentlichungstag:
19.05.2004  Patentblatt  2004/21

(21) Anmeldenummer: 02766624.7

(22) Anmeldetag:  10.04.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/66
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/004001
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/089176 (07.11.2002 Gazette  2002/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 10.04.2001 DE 10117880

(71) Anmelder: Mühlbauer AG
93426 Roding (DE)

(72) Erfinder:
  • BROD, Volker
    93077 Bad Abbach (DE)
  • OVERMEYER, Ludger
    31535 Neustadt (DE)
  • MONSER, Hans-Peter
    01129 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & SchwanhäusserAnwaltssozietät 
Maximilianstrasse 58
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM VEREINZELN VON ELEKTRONISCHEN BAUTEILEN AUS EINEM VERBUND