(19)
(11) EP 1 419 525 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.08.2003

(43) Veröffentlichungstag:
19.05.2004  Patentblatt  2004/21

(21) Anmeldenummer: 02754521.9

(22) Anmeldetag:  09.08.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/768
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/002946
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/019649 (06.03.2003 Gazette  2003/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 20.08.2001 DE 10140754

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHINDLER, Günther
    80802 München (DE)
  • PAMLER, Werner
    80686 München (DE)
  • GABRIC, Zvonimir
    85604 Zorneding (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) LEITERBAHNANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER LEITERBAHNANORDNUNG