(19)
(11) EP 1 420 917 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.05.2004  Patentblatt  2004/22

(21) Anmeldenummer: 02769865.3

(22) Anmeldetag:  12.08.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B23K 26/38, B23K 26/06, B23K 26/16, B23K 26/18
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/002958
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/018248 (06.03.2003 Gazette  2003/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 17.08.2001 DE 10140533

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HANEBUTH, Henning
    85622 Feldkirchen (DE)
  • KULL, Eberhard
    85276 Pfaffenhofen (DE)
  • KAMLAGE, Günter
    30163 Hannover (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR MIKROBEARBEITUNG EINES WERKSTÜCKS MIT LASERSTRAHLUNG