(19)
(11) EP 1 421 226 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.05.2004  Patentblatt  2004/22

(21) Anmeldenummer: 02758166.9

(22) Anmeldetag:  27.08.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 16/34
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003138
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/025248 (27.03.2003 Gazette  2003/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT

(30) Priorität: 29.08.2001 DE 10142267

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BERNHARDT, Henry
    01129 Dresden (DE)
  • MORGENSCHWEIS, Anja
    01108 Dresden (DE)
  • OTTENWAELDER, Dietmar
    01129 Dresden (DE)
  • STADTMUELLER, Michael
    01109 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Müller - Hoffmann & Partner 
Patentanwälte,Innere Wiener Strasse 17
81667 München
81667 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN VON SILIZIUMNITRID