(19)
(11) EP 1 421 227 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
22.05.2003

(43) Veröffentlichungstag:
26.05.2004  Patentblatt  2004/22

(21) Anmeldenummer: 02760136.8

(22) Anmeldetag:  23.08.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 16/509
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003131
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/018870 (06.03.2003 Gazette  2003/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 24.08.2001 DE 10141142

(71) Anmelder: Roth & Rau AG
09358 Wüstenbrand (DE)

(72) Erfinder:
  • POLL, Hans-Ulrich
    09116 Chemnitz (DE)
  • ROTH, Dietmar
    09353 Oberlungwitz (DE)

(74) Vertreter: Pätzelt, Peter, Dipl.-Ing. 
Patentanwälte Pätzelt - Seltmann - HofmannWorld Trade CenterAmmonstrasse 72
01067 Dresden
01067 Dresden (DE)

   


(54) EINRICHTUNG ZUR REAKTIVEN PLASMABEHANDLUNG VON SUBSTRATEN UND VERFAHREN ZUR ANWENDUNG