(19)
(11) EP 1 423 679 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.12.2003

(43) Veröffentlichungstag:
02.06.2004  Patentblatt  2004/23

(21) Anmeldenummer: 02779421.3

(22) Anmeldetag:  25.09.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01N 21/15
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/010763
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/029789 (10.04.2003 Gazette  2003/15)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 25.09.2001 DE 10147089

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • DUPARRE, Angela
    07751 Jena (DE)
  • GLIECH Stefan
    07743 Jena (DE)
  • NOTNI Gunther
    07749 Jena (DE)
  • STEINERT, Jörg
    07743 Jena (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner 
Mozartstrasse 17
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR UNTERDRÜCKUNG VON LICHTABSORPTION, LICHTSTREUUNG UND KONTAMINATION BEI WELLENLÄNGEN UNTERHALB VON 200NM