(19)
(11) EP 1 423 759 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
02.06.2004  Patentblatt  2004/23

(21) Anmeldenummer: 02798682.7

(22) Anmeldetag:  28.08.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003196
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/025678 (27.03.2003 Gazette  2003/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 30.08.2001 DE 10143711

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ALBRECHT, Thomas
    81927 München (DE)
  • HAASE, Norbert
    01478 Weixdorf (DE)
  • HAFFNER, Henning
    01099 Dresden (DE)
  • JÄHNERT, Carmen
    01108 Dresden (DE)
  • KRONEFELD, Olaf
    01279 Dresden (DE)
  • STIEGLER, Manfred
    84405 Dorfen (DE)

(74) Vertreter: Gross, Felix et al
Maikowski & NinnemannEuropean Patent and Trademark AttorneysKurfürstendamm 54-55
10707 Berlin
10707 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR STEUERUNG DES DATENFLUSSES BEIM EINSATZ VON RETIKELN EINER HALBLEITER-BAUELEMENT PRODUKTION