(19)
(11) EP 1 423 874 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
14.08.2003

(43) Veröffentlichungstag:
02.06.2004  Patentblatt  2004/23

(21) Anmeldenummer: 02764546.4

(22) Anmeldetag:  14.08.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/8242
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/002980
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/028104 (03.04.2003 Gazette  2003/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 05.09.2001 DE 10143650

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LÜTZEN, Jörn
    01099 Dresden (DE)
  • GOEBEL, Bernd
    01099 Dresden (DE)
  • SCHUMANN, Dirk
    16567 Schönfliess (DE)
  • GUTSCHE, Martin
    84405 Dorfen (DE)
  • SEIDL, Harald
    85622 Feldkirchen (DE)
  • POPP, Martin
    01109 Dresden (DE)
  • KERSCH, Alfred
    85640 Putzbrunn (DE)
  • STEINHÖGL, Werner
    80538 München (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) HALBLEITERSPEICHER MIT EINEN VERTIKALEN AUSWAHLTRANSISTOR UMFASSENDEN SPEICHERZELLEN SOWIE VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG