(19)
(11) EP 1 425 784 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.06.2004  Patentblatt  2004/24

(21) Anmeldenummer: 02760146.7

(22) Anmeldetag:  02.09.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/20, H01L 33/00, H01L 21/033, C23C 16/04, C23C 16/30, C30B 29/40
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003221
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/025988 (27.03.2003 Gazette  2003/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 31.08.2001 DE 10142656

(71) Anmelder: Osram Opto Semiconductors GmbH
93049 Regensburg (DE)

(72) Erfinder:
  • LUGAUER, Hans-Juergen
    93173 Wenzenbach (DE)
  • BADER, Stefan
    93053 Regensburg (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERSCHICHTEN AUF III-V-NITRIDHALBLEITER-BASIS