(19)

(11)

EP 1 428 072 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 18.12.2003 (43) Veröffentlichungstag: 16.06.2004  Patentblatt  2004/25 (21) Anmeldenummer: 02798745.2 (22) Anmeldetag:  19.09.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 1/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/010545 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/025979 (27.03.2003 Gazette  2003/13)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 20.09.2001 DE 10146355 (71) Anmelder: MUETEC Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH 80993 München (DE)	(72) Erfinder: BRÜCK, Hans-Jürgen 81247 München (DE) SCHEURING, Gerd 80997 München (DE) (74) Vertreter: Schoppe, Fritz, Dipl.-Ing. et al Patentanwälte Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler,Postfach 246 82043 Pullach bei München 82043 Pullach bei München (DE)