(19)
(11) EP 1 428 076 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
14.08.2003

(43) Veröffentlichungstag:
16.06.2004  Patentblatt  2004/25

(21) Anmeldenummer: 02774389.7

(22) Anmeldetag:  20.09.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003531
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/027630 (03.04.2003 Gazette  2003/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 21.09.2001 DE 10146583

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GERHARD, Detlef
    81829 München (DE)
  • LECHNER, Johannes
    80798 München (DE)
  • RIEGER, Detlef
    85598 Baldham (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM OPTISCHEN ABTASTEN EINER SUBSTRATSCHEIBE