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(11) | EP 1 429 457 A3 |
| (12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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| (54) | Vorrichtung zur Frequenzabstimmung eines Hohlraumresonators oder dielektrischen Resonators |
| (57) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur elektrischen Frequenzabstimmung eines
Hohlraumresonators oder dielektrischen Resonators. Die Vorrichtung ist gekennzeichnet
durch eine auf einem dielektrischen Substrat aufgebrachten Metallschicht (24), die
von mindestens einem Spalt (25) unterbrochen ist, wobei der Spalt durch mindestens
ein mikromechanisches Strukturelement (27) überbrückt wird, dessen Abstand zur Metallschicht
elektrisch variiert werden kann. Dadurch bildet die Vorrichtung eine Wand mit elektrisch
steuerbarer Transparenz für bestimmte Wellentypen.
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