(19)
(11) EP 1 430 521 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.08.2003

(43) Veröffentlichungstag:
23.06.2004  Patentblatt  2004/26

(21) Anmeldenummer: 02754283.6

(22) Anmeldetag:  28.06.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/3065, H01J 37/32
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/002363
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/028081 (03.04.2003 Gazette  2003/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 14.09.2001 DE 10145297

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • LAERMER, Franz
    71263 Weil Der Stadt (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM EINÄTZEN VON STRUKTUREN IN EINEN ÄTZKÖRPER MIT EINEM PLASMA