(19)
(11) EP 1 430 540 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.06.2004  Patentblatt  2004/26

(21) Anmeldenummer: 02800068.5

(22) Anmeldetag:  05.09.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/788, H01L 29/423, H01L 27/115, G11C 16/04
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/009920
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/030268 (10.04.2003 Gazette  2003/15)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 24.09.2001 DE 10146978

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HAGEMEYER, Peter
    01097 Dresden (DE)
  • LANGHEINRICH, Wolfram
    01324 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Wilhelm, Jürgen, Dipl.-Phys. et al
Patentanwaltskanzlei Wilhelm & Beck,Nymphenburger Strasse 139
80636 München
80636 München (DE)

   


(54) FLASH-SPEICHERZELLE MIT VERGRABENEM FLOATING-GATE UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER SOLCHEN FLASH-SPEICHERZELLE