(19)
(11) EP 1 433 192 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.06.2004  Patentblatt  2004/27

(21) Anmeldenummer: 02777222.7

(22) Anmeldetag:  26.09.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01J 37/32
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/010811
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/030207 (10.04.2003 Gazette  2003/15)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 28.09.2001 DE 10147998

(71) Anmelder: Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
9496 Balzers (LI)

(72) Erfinder:
  • WEICHART, Jürgen
    FL-9496 Balzers (LI)
  • AMMAN, Dominik, Wimo
    FL-9486 Schaanwald (LI)
  • KRASSNITZER, Siegfried
    A-6800 Feldkirch (AT)

(74) Vertreter: GROSSE BOCKHORNI SCHUMACHER 
Patent- und RechtsanwälteForstenrieder Allee 59
81476 München
81476 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES PLASMAS