(19)
(11) EP 1 434 898 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.07.2004  Patentblatt  2004/28

(21) Anmeldenummer: 02754096.2

(22) Anmeldetag:  28.08.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 16/54, C30B 25/10, C23C 16/458
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH2002/000467
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/031680 (17.04.2003 Gazette  2003/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 12.10.2001 CH 188901

(71) Anmelder: Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
9496 Balzers (LI)

(72) Erfinder:
  • BUSCHBECK, Hans, Martin
    CH-9475 Sevelen (CH)
  • BARTHOLET, Philipp
    CH-9478 Azmoos (CH)
  • WILTSCHE, Siegfried
    A-6800 Feldkirch (AT)
  • RAMM, Jürgen
    CH-9475 Sevelen (CH)

(74) Vertreter: Troesch Scheidegger Werner AG 
Schwäntenmos 14
8126 Zumikon
8126 Zumikon (CH)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON BAUELEMENTEN UND ULTRAHOCHVAKUUM-CVD-REAKTOR