(19)

(11)

EP 1 434 977 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.07.2004  Patentblatt  2004/28 (21) Anmeldenummer: 02785122.9 (22) Anmeldetag:  18.09.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01J 4/00, G01N 21/21 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/010476 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/029770 (10.04.2003 Gazette  2003/15)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR (30) Priorität: 24.09.2001 DE 10146945 (71) Anmelder: Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: DOBSCHAL, Hans-Jürgen 99510 Kleinromstedt (DE) MASCHKE, Gunter 07743 Jena (DE) BISCHOFF, Jörg 98693 Illmenau (DE) (74) Vertreter: Grimm, Christian Jan Rainer et al Geyer, Fehners & Partner,Patentanwälte,Perhamerstrasse 31 80687 München 80687 München (DE)