(19)
(11) EP 1 436 444 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.07.2004  Patentblatt  2004/29

(21) Anmeldenummer: 02801305.0

(22) Anmeldetag:  02.10.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 16/52
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/011037
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/033763 (24.04.2003 Gazette  2003/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 17.10.2001 DE 10151259

(71) Anmelder: Aixtron AG
52072 Aachen (DE)

(72) Erfinder:
  • HEUKEN, Michael
    52078 Aachen (DE)
  • BODE, Matthias
    B-4728 Hergenrath (BE)
  • PFEIL, Michael
    52146 Würselen (DE)
  • SCHMITT, Jürgen
    52080 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk, Dr. et al
Corneliusstrasse 45
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BERWACHUNG EINES CVD−PR OZESSES